ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Область взаимодействия из "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ том 1" Процессы упругого и неупругого рассеяния конкурируют между собой. За счет упругого рассеяния электроны пучка отклоняются от их первоначального направления движения, а затем диффундируют в твердом теле. Неупругое рассеяние значительно уменьшает энергию электрона пучка до те.х пор, пока он не захватывается твердым телом, ограничивая, таким образом, длину передвижения электрона в твердом теле. Область, внутри которой электроны пучка взаимодействуют с твердым телом, теряя энергию и создавая те формы вторичного излучения, которые мы измеряем, называется областью взаимодействия. Знание размера и формы области взаимодействия и их зависимости от параметров объекта и пучка чрезвычайно необходимы для точной интерпретации изображений в РЭМ и для микроа-нализа. [c.28] Область с большой плотностью траекторий (рис, 3.7) меняет свою форму от грушевидной для образцов с низким атомным номером, например углерод, до почти сферической, рассеченной плоскостью поверхности, для мишеней с высоким атомным номером. [c.37] Для заданного среднего угла рассеяния Р при нормальном падении электрон стремится продолжить движение внутрь твердого тела. Если образец наклонен, электроны могут покидать его непосредственно после соударения. [c.40] ДОМ Монте-Карло (рис. 3.9). Такое поведение связано с большой вероятностью для электронов в каждом отдельном соударении претерпевать рассеяние вперед по направлению движения. Так, для однократного соударения средний угол отклонения от направления движения мал и составляет по порядку величины 5°. При нормальном падении, или при угле наклона 0°, тенденция к рассеянию вперед в направлении движения заставляет электроны проникать глубже в объект (рис. 3.10). При наклоне объекта эта тенденция заставляет электроны перемещаться ближе к поверхности и размер области взаимодействия по глубине уменьшается. Отметим, что из-за более предпочтительного рассеяния в направлении движения размер в направлении, параллельном поверхности и перпендикулярном оси наклона, возрастает по сравнению с поперечными размерами при нормальном падении. Размер в направлении, параллельном оси наклона, остается таким же, как при нормальном падении. [c.41] Расстояние, которое проходит электрон в твердом теле, удобно определять с помощью так называемой длины пробега электрона . В литературе существует несколько различных определений длины пробега электронов, здесь будут рассмотрены лишь те из них, которые представляют принципиальный интерес для растровой электронной микроскопии и рентгеновского микроанализа. [c.41] Вернуться к основной статье