ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Ионно-зондовые методы из "Аналитическая химия Том 2" Этот пример демонстрирует успешное сочетание методов ОЭС и ПЭМ, поскольку ПЭМ характеризуется чрезвычайно высоким пространственным разрешением (и разрешением по глубине для срезов образцов), а ОЭС позволяет определить химический состав слоя. [c.345] Послойный анализ как средство анализа тонких слоев позволяет работать с поверхностными зонами от одного атомного слоя до слоев в несколько микрометров толщиной. [c.345] Общим принципом ионно-зондовых методов является облучение образца (мишени) ионным пучком (первичными ионами) в диапазоне энергий от нескольких сотен электронвольт до нескольких мегаэлектронвольт. В зависимости от величин кинетической энергии и от комбинации первичные частицы/мишень могут преобладать различные взаимодействия, которые приводят к возникновению различных аналитических сигналов (табл. 10.3-1). [c.345] Ионно-зондовые методы имеют чрезвычайно большое значение для анализа поверхности. К наиболее важным методам относятся спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния и масс-спектрометрия вторичных ионов. В следующих разделах мы более подробно остановимся на этих методах. [c.348] Вернуться к основной статье