ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Модификация полимерного компонента резистов из "Светочувствительные полимерные материалы" Фирма ЗМ (США) вводит в композицию позитивного резиста с целью улучшения механических свойств слоя смесь НС и акрилатного полимера (например, сополимера 35 % стирола, 59 % этилакрилата и 6 % метакриловой кислоты), модифицированных полиизоцианатами в присутствии триэтилендиамина [пат. Великобритании 1474073]. С этой же целью составляют композицию фоторезиста из светочувствительного хинондиазида, НС, резола и добавок — эпоксифенольного лака и бутилированного стиромаля после обычных операций и обработок получают высокотираже-устойчивую печатную форму [а. с. СССР 889486]. [c.81] В резистный слой из нафтохииондиазида и НС дополнительно вводят примерно 0,04 от массы НС какой-либо полимер, например канифоль или ее производные [пат. ФРГ 2622799]. Канифоль придает печатной форме на анодированном алюминии стойкость к истиранию, улучшает и другие свойства резистных слоев [см. также пат. Великобритании 1586586 пат. США 4148664 пат. ФРГ 1622301]. [c.81] Введение частично фторированного поверхностно-активного полимера в композицию делает гораздо более ровным слой резиста на подложке, улучшает его светочувствительность и повышает механические свойства резистного рельефа [пат. ФРГ 2914558]. [c.81] Конденсаты фенола, /г-грег-бутилфенола и формальдегида (например, с молярным соотношением 2,3 2,4 3,3) этерифицируют на 20—60% 5-или 4-сульфокислотами либо 5-или 4-карбоновыми кислотами дназонафталинона. Эти смолы дают очень хорошую дифференциацию экспонированных и неэкспонированных участков по отношению к щелочному проявителю благодаря стойкости исходного слоя к действию оснований. Рельеф обладает стойкостью к действию кислотных травителей и отличается механической прочностью [пат. США 4308386]. [c.83] С целью укрепления гидрофобного слоя полимера на анодированном алюминии составляют композицию фоторезиста из НС, 10% гидроксилов которой этерифицированы 5-сульфокислотой 2-диазо-1-нафталинона, и добавки нерастворимого в щелочи полимера 10% от массы НС низкомолекулярного Г1ВА-или 16 % частично гидролизованного сополимера винилацетата с винилхлори-дом с ММ порядка 8000, либо 16 % последнего сополимера и сополимера винилхлорида, винилацетата и малеиновой кислоты [заявка Великобритании 2075700]. При больших количествах добавки после проявления на подложке остается вуаль. [c.83] Не всегда укрепляющий слой добавочный полимер хорошо сов мещается со светочувствительной композицией, поэтому в ряд( работ его вводят в внде отдельной фазы (слоя). Например на подложку анодированного алюминия наносят резист, затем нг него найлон и сверху снова резист. Во время фотолиза засвечи ваются оба слоя с хинондиазидом прн проявлении в этих места вместе с новолаком удаляется и промежуточный найлоновый слор [пат. Великобритании 1478333]. Это усложнение технологии дает возможность при небольшой суммарной толщине слоя повысит светочувствительность при меньшем расходе хинондиазида, а также тиражеустойчивость печатной формы. Укрепляющий полимер мо жно наносить или на слой резиста, или под него, используя растворители, избирательно растворяющие только компоненты слоя, наносимого последующим [пат. США 4207106]. [c.84] Вернуться к основной статье