ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Основные виды вакуумных систем из "Основы вакуумной техники" Откачка любого электровакуумного прибора сводится к выполнению последовательного ряда операций, в результате которых изготовление прибора заканчивается или же остается выполнить лишь некоторые дополнительные операции (использование поглотителя, цоколевка и т. п.). Операции, последовательно проводимые в процессе откачки, принципиально одинаковы для всех электровакуумных приборов независимо от их типа и конструкции. Прибор присоединяется откачной трубкой к вакуумной системе, из него удаляется основная масса воздуха, далее происходит вакуумная обработка прибора (прогрев стекла если нужно, прокаливание металлических деталей и т. п.), доводится до нужного минимума полное давление (в вакуумных приборах) или парциальное давление вредных примесей к газу (в приборах с газовым наполнением) и после этого прибор отпаивается. [c.300] Чем больше размеры прибора, чем ои более сложен и чувствителен к качеству откачки, тем большая степень герметичности требуется при его присоединении к вакуумной системе и тем большее время необходимо на его откачку. Наоборот, приборы небольших размеров или менее сложные, или, наконец, доводимые до требуемого вакуума уже после отпайки с вакуумной системы (поглотителями) можно откачивать значительно быстрее. По этому признаку вакуумные системы подразделяются на два основных вида откачные посты и откачные автоматы. [c.301] Откачные посты предназначены, как правило, для длительной и тщательной откачки они могут быть приспособлены для присоединения приборов к вакуумной системе путем напайки напаянный прибор или одновременно целая партия напаянных приборов проходит весь цикл откачки, затем отпаивается и только после этого можно напаивать для откачки следующий прибор или партию приборов. [c.301] Откачные посты. Как правило, откачной пост представляет собой металлический прямоугольный каркас, на нижней половине которого монтируются трубопровод и все основные приспособления на верхней половине поста к концам трубопровода присоединяются откачиваемые приборы, здесь же расположены печь для прогрева стекла и электрическая подводка для прокаливания металлических деталей пропусканием тока, токами высокой частоты и электронной бомбардировкой. Вращательные насосы размещаются обычно с задней стороны откачного поста. [c.301] Возможные вакуумные схемы для откачных постов мы рассмотрихм, начиная с самых простых и переходя постепенно К более сложным. [c.301] Для удобства описания приводим некоторые принятые изображения элементов вакуумных систем остальные изображения пояснений не требуют. [c.301] Откачиваемый прибор с откачной трубкой последняя может быть пли достаточно узкой на всем протяжении и потому не нуждающейся в перетяжке, или может иметь перетяжку, которую указывать не будем. [c.302] Стеклянная вилка с напаянными для откачки приборами (на всех рисунках вилка изображена с тремя напаянными приборами практически число отростков в зависимости от конструкции откачиваемых приборов может доходить до не- скольких десятков). [c.302] Резиновое соединение (отрезок резинового шланга). [c.302] Металлический зажим для резиновых соединений. [c.302] ЦВП — централизованная вакуумная подводка. Последняя представляет собой магистраль, проложенную от мощного вакуумного насоса (расположенного обычно в отдельном помещении) и имеющую систему ответвлений, подводимых к отдельным вакуумным системам. [c.302] Примерные вакуумные системы откачных постов изображены на рис. 8-23 8-31. На рис. 8-23 представлена простейшая вакуумиая система, предназначенная для откачки одного объекта только вращательным насосом. Точного измерения вакуума за отсутствием манометров провести нельзя для оценки давления можно пользоваться свечением электрического разряда, возбуждаемым в откачиваемом объекте или трубопроводе (обычно искровым течеискателем). [c.302] На рис. 8-26 вакуумная система снабжена манометрами компрессионным, показывающим парциальное давление постоянных газов, и тепловым, показывающим полное давление в системе. [c.303] На 180° и тем одновременно все участки вакуумной системы (включая и пространство над ртутью в баллоне, связанное с краном 1) будут сообщены с централизованной вакуумной подводкой или отдельным насосом. После этого кран 2 можно повернуть на кран 4, сообщающий вакуумную систему с вращательным насосом. [c.305] Вакуумная система с парортутным насосом, ловушкой и ионизационным манометром. [c.305] Представленная на рис. 8-30 вакуумная система приспо-соблбна для откачки одновременно двух электровакуумных приборов. [c.305] Если к вакуумной системе подведвн газ, нуждающийся в очистке, то между газовой подводкой и вакуумной системой помещается газоочистительная система. [c.306] Как уже было упомянуто, при откачке газонаполненных приборов требуется достаточная чистота газа—наполнителя парциальное давление вредных газообразных примесей должно быть минимальным. [c.306] Вернуться к основной статье