ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Основы расчета вакуумных систем из "Основы расчета и конструирования оборудования электровакуумного производства" Датчик предназначен для подачи сигнала на электромагнитные клапаны в случае, если давление в системе превышает заданную величину. [c.474] Если натекания устранены (Qi/ = 0), то суммарный поток газа Qs в основном будет зависеть от качества и степени предварительного обезгаживания материалов прибора и от конструкции вакуумной системы. [c.475] Газоотделение прибора Q/ складывается из газоотделения материала оболочки лампы и газов, выделяющихся при термохимической обработке катода. Газовыделение из материалов оболочки и элементов конструкции лампы максимально в начальной стадии обработки прибора и постепенно уменьщается к концу технологического процесса откачки, причем в первый момент происходит десорбция газов и паров (в основном НгО, N2, СО, О2, Нг и СО2), а затем газовыделение из толщи материала. Снижение газовыделения из материала может быть достигнуто за счет предварительного обезгаживания и применения материалов вакуумной плавки. В приборах с катодами косвенного накала газовыделение из катода часто превыщает газовыделение из прочих элементов конструкции прибора и иногда достигает 90% общего газовыделения. [c.475] Суммарное газовыделение прибора значительно больше количества газов, содерл ащихся в его объеме при lO -f-10 тор. [c.475] Необходимо учитывать, что процесс диффузии газов из толщи металлов в вакуумную полость протекает при комнатных температурах очень медленно и длится практически в течение всего времени эксплуатации вакуумной системы. С другой стороны, вследствие того что изделие при откачке прогревается, газоотделение его элементов, максимальное в начале технологического процесса, к концу процесса уменьщается в десятки раз. [c.476] Особенно большое влияние на предельное давление в системе оказывает натекание через неплотности. Например, величина натекания Оп через отверстие площадью 0,0003 мм составляет свыше 1,7 л мтор/сек. [c.476] При расчете вакуумных систем, предназначенных для откачки ЭВП, чаще всего требуется определить рабочее давление в полости изделия или пропускную способность вакуумной системы, необходимую для поддержания этого давления. [c.476] Пропускная способность и может быть определена из известных соотношений, которые приводятся в курсе Основы вакуумной техники . [c.476] С целью обеспечения необходимой эффективной быстроты откачки вакуумной системы между откачным гнездом и входным патрубком насоса должна обеспечиваться максимальная пропускная способность. [c.477] Расчет вакуумных систем для откачки рабочих объемов технологических камер. В зависимости от характера исходных данных расчет вакуумных систем для откачки рабочих объемов технологических камер может быть сведен или к определению геометрических размеров вакуумпроводов при заданных насосах, или к подбору насосов для заданных трубопроводов. Иногда приходится решать эти задачи вместе. [c.477] Расчет вакуумной системы при заданных насосах. Пусть дано Ур—величина рабочего объема, л рр — рабочий вакуум в нем, тор 8ц—быстрота откачки вакуумного насоса, л сек t — время создания рабочего вакуума, сек. [c.477] Так производится расчет вакуумной системы при заданных насосах. [c.479] Здесь рассчитываются параметры насоса быстрота откачки и предельный вакуум. [c.479] На основании полученных величин по справочным данным выбирают марку насоса. [c.479] Все три рассмотренных варианта расчета предназначены для систем, работающих на создание вакуума за определенное время без учета газоотделения и натекания (если даны Ур и /), или для систем, работающих на поддержание вакуума при определенном натекании и газоотделении (если дано Q). [c.480] Здесь А — коэффициент, равный 2,5- 3 для механических и 3-4-5 для бустерных насосов. [c.480] Кроме того, необходимо, чтобы давление на впускном патрубке первого насоса было ниже, чем на выпускном патрубке второго. [c.481] Трубопровод рассчитывают только для высоковакуумной части системы, причем за исходное давление принимают величину предварительного разрежения. Размеры трубопроводов, соединяющих насосы, выбирают конструктивно в зависимости от минимально возможного расстояния между ними и от диаметра всасывающего патрубка насоса предварительного разрежения. [c.481] Основные сведения о расчете вакуумных камер. В значительном большинстве случаев вакуумные камеры и системы в целом не испытывают иных механических нагрузок, кроме давления окружающего воздуха при обычном атмосферном давлении, т. е, на 1 см поверхности вакуумной камеры действует равномерно распределенная нагрузка величиной в 10 н. [c.481] Такое незначительное давление на стенки позволяет изготовлять вакуумные камеры тонкостенными, но с обязательным соблюдением правильных устойчивых форм с выпуклыми сферическими, Коробовыми или коническими крышками и довольно толстыми днищами и соединительными фланцами. [c.481] Вернуться к основной статье