ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Основы конструирования вакуумных систем из "Основы расчета и конструирования оборудования электровакуумного производства" Последовательность проектирования вакуумной системы. Разработка вакуумной системы производится в определенной последовательности. [c.493] Второй стадией разработки вакуумной системы является детальный анализ технического задания и подбор всех необходимых для конструирования материалов. [c.493] Проектирование вакуумной системы может быть разбито на следующие основные этапы. [c.494] На основании вынолненной рабочей документации производится затем изготовление, сборка и испытание отдельных деталей, элементов и блоков вакуумной системы. [c.494] Понятие о блочном принципе конструирования вакуумных систем. В последнее время все более широкое применение находит так называемый блочный принцип конструирования, когда отдельные детали сначала соединяют в более крупные сборочные единицы (так называемые блоки), из которых в дальнейшем собирают уже вакуумную систему. [c.494] Такими блоками могут, например, являться пароструйный насос с азотной ловушкой и высоковакуумным затвором, вращательный насос с вентилями и трубопроводами предварительного разрежения, вакуумная камера со смотровыми окнами, патрубками для установки вакуумных манометров, натекателями и другими деталями. Блочное исполнение широко применяется для вакуумных коммутационных элементов (блоки клапанов и блоки вентилей с различными видам приводов). [c.494] При этом затруднена взаимная блокировка вентилей, а габариты вакуумной системы в целом получаются значительными. Стремление упростить обслуживание и исключить возможные ошибки оператора при работе с вентилями приводит к необходимости компоновки коммутирующих элементов в едином блоке с жесткой последовательностью переключений. В тех случаях, когда блоки коммутирующих элементов используются в вакуумных системах и откачных машинах, предназначенных для откачки электровакуумных приборов через штенгели, откачное гнездо также является необходимым элементом блока. Так, например, на полуавтоматах для откачки ЭЛТ применен блок клапанов с откачным гнездом (рис. 7.58). В конструкции блока объединены четыре клапана, имеющие следующие назначения клапан 3 предназначен для отключения откачного гнезда 1 от вакуумной системы клапан 6 — для сообщения откачного гнезда с механическим вакуумным насосом клапан 4 — для соединения откачного гнезда с пароструйным диффузионным насосом и клапан 7 — для соединения выпускного патрубка пароструйного диффузионного насоса с механическим вакуумным насосом. Управление клапаном 3 осуществляется маховиком 2. Три остальных клапана смонтированы на общем штоке 5 и приводятся в действие рукояткой 8. [c.495] В крайнем правом положении, как показано на рисунке, клапан 6 соединяет откачное гнездо с механическим вакуумным насосом. В это время выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса изолирован клапаном 7 от механического вакуумного насоса. Форвакуумным бачком для пароструйного диффузионного насоса служит объем магистрали, заключенный между клапаном 7 и выпускным патрубком насоса. В крайнем левом положении клапан 7 соединяет механический вакуумный насос с выпускным патрубком пароструйного диффузионного насоса, а клапан 6 изолирует откачное гнездо от форвакуумной магистрали. Одновременно клапан 4 соединяет откачное гнездо с пароструйным диффузионным насосом. [c.495] Стремление использовать один механический вакуумный насос для предварительной откачки изделия и создания предварительного разрежения на выпускном патрубке пароструйного диффузионного насоса привело к некоторому усложнению конструкции блока клапанов. Конструкция блока клапанов содержит много открытых поверхностей резиновых уплотнителей, обращенных в вакуумную полость, имеет каналы сложной конфигурации с большим сопротивлением и много сильфонных узлов. Остаточное давление в системе с применением этого блока клапанов обычно не ниже 5 10 тор. [c.495] При блочном принципе конструирования значительно уменьшаются габариты вакуумной системы и ее элементов, облегчаются условия сборки, системы и ее испытания на герметичность. [c.496] Блочный принцип конструирования обеспечивает значительное уменьшение соприкасающейся с вакуумом поверхности металла н дает возможность существенно увеличить эффективную быстроту действия насосов. [c.497] Соединение отдельных блоков и элементов между собой должно быть по возможности унифицировано и легкодоступно для разборки в случае необходимости ремонта или замены. [c.497] Принципы компоновки вакуумной системы. Устройство и взаимное расположение отдельных конструктивных элементов вакуумной системы должны обеспечивать наиболее короткие и простые пути откачки с максимальным использованием быстроты действия насосов. [c.497] При выборе размеров трубопроводов, а также кранов, вентилей и затворов следует добиваться минимального снижения общей пропускной способности коммуникаций, руководствуясь вместе с тем экономическими соображениями. [c.497] Трубопроводы, арматура и элементы вакуумных систем должны изготавливаться под условные проходы, указанные в табл. 7.3. [c.497] Это связано с тем, что вращательные масляные насосы значительно дороже простых низковакуумных коммуникаций. Что касается стоимости пароструйного насоса, то он приблизительно равен стоимости высоковакуумной коммуникации, в состав которой обычно входят дорогостоящий высоковакуумный затвор и азотная ловущка, увеличение габаритных размеров последних нецелесообразно. [c.498] Наиболее рациональным способом крепления отдельны.ч блоков и элементов является такой, когда ряд блоков при помощи соединительных трубопроводов жестко крепится на одном из блоков, принятом за базу, а этот блок крепится уже к каркасу вакуумной системы. Таким путем удается обойтись без эластичных элементов,, в качестве которых обычно используют металлические сильфоны и отрезки толстостенной вакуумной резины, или же свести их число до минимума. [c.498] Соединение откачиваемого объема или высоковакуумиого блока с вращательным насосом должно производиться через сильфон. Это необходимо для того, чтобы вибрации, которые возникают при работе вращательного насоса, не передавались всей вакуумной системе. [c.498] Конструкция вакуумной системы должна также обеспечивать необходимые рабочие переключения, быть надежной и удобной в эксплуатации. [c.498] Обеспечение герметичности вакуумной системы. Герметичность вакуумной системы — отдельных деталей, мест их соединения и системы в целом — прежде всего определяет величину предельного вакуума, который можно получить в вакуумной системе. При плохой герметичности газовыделение системы практически полностью определяется величиной суммарной течи. [c.498] Вернуться к основной статье