ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Измерение параметров микроскопа из "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ том 1" Все параметры, характеризующие падающий электронный пучок (т. е. ток падающего пучка 1. диаметр зонда з и угол схождения а), могут быть определены экспериментально. Если нет необходимости менять эти величины непрерывно, полезно связать выбранные значения , з и с конкретными рабочими условиями, используя это как для установки желаемых рабочих параметров, так и для диагностики прибора в процессе решения задач микроскопии. [c.15] ПОЛНОСТЬЮ закрытый, за исключением небольшого входного отверстия, контейнер (рис. 2.2). Для этой цели обычно используется диафрагма электронного микроскопа (диаметр 3 мм) с отверстием 25—100 мкм. Контейнер изготавливается из материала (Т или С), отличного от металла, используемого для изготовления столика микроскопа. В этом случае легко регистрировать любое рентгеновское излучение от цилиндра Фарадея. Конструкция цилиндра Фарадея не позволяет выходить наружу отраженным и вторичным электронам, возникаюш,им под действием первичного пучка. Поэтому ток, текуш,ий на землю, в точности равен току падаюш,его пучка / и может быть легко измерен пикоамперметром постоянного тока или калиброванным усилителем тока образца. В тех случаях, когда не требуется большой точности, цилиндр Фарадея может быть заменен плоским куском графита. В этом случае измеряемый ток образца г об и ток первичного (падаюш,его) пучка I связаны соотношением 1 = 1об/[1—(л + б)], где т] и б — коэффициенты отражения и вторичной электронной эмиссии (гл. 3) соответственно. Для графитового образца, расположенного перпендикулярно пучку, как т], так о б малы, так что ошибка составляет по порядку величины всего лишь 10%. [c.16] ОТ 10 ДО 90%, ХОТЯ, если на сигнал накладывается сильный шум, легче найти точки, соответствующие изменению уровня сигнала в 25 и 75%. Такими подходящими объектами с резким краем являются чистые лезвия для бритья, сколы таких материалов, как кремний и проволочки. Край должен быть чистым, гладким и непрозрачным для электронов. Хотя этим условиям легко удовлетворить для широких зондов (1 мкм в диаметре), для зондов меньшего диаметра очень трудно найти или изготовить подходящие острия. В идеальном случае часть кромки, поперек которой производится сканирование, должна находиться над входным отверстием цилиндра Фарадея, чтобы рассеяние падающего пучка не могло изменить форму сигнала. [c.17] В большинстве случаев ответ близок к предсказуемому при использовании диаметра Ол диафрагмы объективной линзы и расстояния 5 от этой диафрагмы до образца, т. е. [c.17] В большинстве случаев вместо 5 может быть подставлено рабочее расстояние. Более подробное обсуждение этих методик можно найти в работе [4]. [c.17] Вернуться к основной статье