ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Негативные азидсодержащие фоторезисты из "Светочувствительные полимерные материалы" Сенсибилизатор поглощает свет, давая радикалы. При термопереносе электрона к ониевым солям снова возникают катион и радикал, которые в результате вторичных реакций инициируют радикальную и катионную полимеризацию, — бивалентные фотоинициаторы [9,36]. [c.132] Многие факторы влияют на относительную реакционноспособ-ность мономеров оказалось, например, что эпоксидированные диолефины более активны, чем аналоги, содержащие, кроме того, ацетальные и эфирные связи, а последние активнее диглицидило-вых эфиров [И]. Системы на основе эпоксимономеров с аминогруппами для инициирования полимеризации, кроме фотолиза, надо еще и нагревать, так как амин связывает кислоту НХ — продукт фотолиза инициатора. [c.132] В композицию вводят до 1,25 7о (от массы мономера) новой соли сульфония такие соли можно применять и для отверждения тонких слоев. Наблюдается при этом инверсная корреляция между толщиной отверждаемого слоя и концентрацией инициатора. [c.132] Эта реакция эффективно протекает как для алифатических, так и для ароматических азидов, квантовые выходы их фоторазложе-иия достигают 0,7—1,0 [1,2]. [c.134] Азидсодержащие светочувствительные составы создаются на основе ароматических или гетероароматических азидов, полимеров или олигомеров и растворителей различной полярности. Среди структур арилазидов, применяемых в фотолитографической практике, можно выделить соединения, поглощающие в области 250—300 нм и используемые в фоторезистах коротковолнового УФ-света соединения с развитой системой сопряжения, чаще других бис(азидобензилиденовые) производные кетонов, поглощающие в области максимальной эмиссии ртутных ламп среднего и высокого давления 310—440 нм диазиды, включающие систему конденсированных ядер с поглощением до 600 нм, пригодные для проекционной фотолитографии. Введением сульфо-, гидрокси- или карбоксильных групп в ароматические ядра светочувствительным азидам придается водорастворимость. [c.134] Вернуться к основной статье