ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Тонкие нитридные пленки из "Карбиды и нитриды переходных металлов" Сверхпроводящие свойства пленок зависят не только от метода напыления и глубины вакуума в системе перед напылением, но также и от материала и температуры подложки, скорости осаждения и парциального давления азота во время напыления. [c.220] Белл и сотр. [35] приготовили тонкие пленки тройных систем Nb — Ti — N и Nb — Zr — N, применив аппаратуру модифицированного триодного напыления, с помощью которой можно менять отношение Nb/Ti (Nb/Zr) в пленках путем простого изменения электрического потенциала на распыляемых мивдедях Nb ц Ti(Zr). [c.220] Перед распылением в системе достигался сверхвысокий вакуум (10 мм рт. ст.). Тс тройных пленок системы N5 — 2г — N близки к температурам, полученным на массивных образцах, но для системы N5 — Т1 — N они были на несколько градусов ниже, чем у массивных образцов (см. рис. 113). Последняя система представляет особый интерес, поскольку она имеет самую высокую Тс на массивных образцах. [c.221] Хотя Гс ЭТИХ пленок ниже, чем у массивных образцов, нет оснований считать, что ее нельзя повысить до значений, характерных для массивных образцов. [c.221] Как будет показано в следующем разделе, верхние критические поля и плотности тока этих пленок превышают величины, найденные на массивных образцах. Поэтому, если удастся повысить Гс пленок по крайней мере до значений, характерных для массивных образцов, то они станут весьма многообещающими для использования в ряде сверхпроводящих схем. [c.221] Вернуться к основной статье