ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Получение металлических покрытий с требуемым рельефом поверхности из "Химия и технология карбонильных материалов" Текстура вольфрамовых и молибденовых покрытий определяется условиями процесса разложения Мо(СО)б и W( O)e (температурой, давлением, продолжительностью ведения процесса). Так, текстура 1П в случае получения молибденовых покрытий в присутствии водорода образуется при 500—700 °С. При 600— 850 °С существуют одновременно текстуры 1П и 100 . Четкая текстура 100 наблюдается у покрытий в области температур 850—1050°С. Увеличение температуры подложки до 1180—1400°С приводит к возникновению текстуры 110 , которая обнаружи-ваетсй также и при 400—450 °С. Однако получить ее устойчивой при низких температурах весьма трудно из-за образования в значительных количествах карбидов молибдена [379, 380, 382]. [c.203] Зависимость рельефа поверхности ре)шевых покрытий от температуры подложки и карбонила (1X50). [c.205] Рост продолжительности процесса ведет к совершенствованию текстуры. Так, при толщине молибденового покрытия 50 мкм (температура подложки 1070°С) угловая протяженность текстурного максимума 200 равна р 3°, что свидетельствует о высокой степени совершенства текстуры. [c.206] Снижение вакуума в системе с 5-10 до Ы0 мм рт. ст. приводит к значительному уменьшению угловой протяженности текстурных максимумов, а также количества спутников на электронограммах, что свидетельствует о снижении дефектности покрытия. Хотя авторы работы [380] и делают вывод о целесообразности ведения процесса при меньшем вакууме в камере, однако они сопровождают этот вывод существенной оговоркой, что значительное снижение вакуума будет способствовать образованию ориентированных карбидов молибдена. [c.206] Наши исследования [381] непосредственно касаются получения металлических покрытий Сг, Мо, Ке и другдх металлов с требуемым рельефом поверхности в вакууме порядка 1-10 мм рт. ст. разложением соответствующих карбонилов без применения несущего газа. [c.206] Морфологическая картина поверхности вольфрамовых покрытий, полученных при разных температурах подложки и карбонила, приводится на рис. 79. Из рисунка видно, что на поверхности подложки наблюдаются каплеподобные конуса роста, увеличивающиеся с повышением температуры подложки от 350 до 600—700 °С. При этом, чем выше температура карбонила, тем при более низкой температуре происходит увеличение их размеров. При дальнейшем повышении температуры карбонила крупные каплеподобные образования начинают делиться, распадаются и при 800—900 °С уже вся подложка представляет собой поверхность, состоящую из ярко выраженных мелких кристаллов. [c.206] Аналогичная зависимость рельефа металлических карбонильных слоев от температуры существует и для покрытий других металлов. На рис. 80 показана морфология поверхности карбонильных рениевых покрытий [383]. Анализируя морфологию поверхности рениевых покрытий, можно видеть, что отдельные сферические (каплеподобные) образования, постепенно дробясь, превращаются в многочисленные кристаллы, равномерно разбросанные по всей площади. Ориентировочно этот переход протекает при более низкой температуре (700 °С), чем в случае вольфрамовых покрытий. [c.206] Таким образом, подбирая режим процесса, можно получить металлические покрытия с требуемым рельефом поверхности. [c.206] Вернуться к основной статье