ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Фотополимерные светочувствительные слои из "Фотохимические процессы в слоях" Этиленовая связь чаще всего является той ненасыщенной группой, за счет фотореакции которой осуществляется структурирование, фактически являющееся инициированной светом полимеризацией. Твердая пленка рельефа на поверхности может создаваться полимеризацией парообразного мономера, жидкого или вязких полимеров. [c.96] Так как в процессе фотополимеризации принимают участие свободные радикалы, то кислород, прерывая цепь, сильно уменьшает скорость полимеризации [22, 23]. Поэтому пленочный резист защищают от действия кислорода добавочной пленкой [3], а в жидкие фотополимерные композиции вводят воск или парафин для уменьшения растворимости кислорода [9]. [c.99] Вернуться к основной статье