ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Исследован процесс получения нитрида алюминия из паров аммиакатов хлористого алюминия в интервале температур из "Химия и физика нитридов" Исследован процесс получения нитрида алюминия из паров аммиакатов хлористого алюминия в интервале температур 900 —1700° С. Изучены условия термического разложения аммиакатов хлористого алюминия на различных подложках (кварц, графит и др.) применительно к получению поликристаллических слоев и кристаллов нитрида алюминия. [c.4] Вернуться к основной статье