ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Методы получения и исследования неравновесной плазмы из "Химическая кинетика и катализ 1985" В качестве генератора плазмы используется тлеющий разряд постоянного тока, высокочастотный разряд (1 4-50 МГц) с индукционным или емкостным возбуждением и разряд сверхвысокой частоты (29 ГГц) рис. 81. [c.371] Для зажигания высокочастотного разряда напряжение от генератора высокой частоты подается на катушку, схватывающую стеклянную или кварцевую трубку, или на внешние кольцевые электроды. Возникающая при зажигании разряда зона плазмы расположена в основном внутри катушки или между электродами. Это — плазма соответственно индукционного и емкостного высокочастотных разрядов (рис. 81,б,в). [c.372] Для возбуждения разряда сверхвысокой частоты трубку (чаще всего кварцевую) помещают в волновод, вдоль которого распространяются электромагнитные волны от сверхвысокочастотного генератора (рис. 81,г). [c.372] Свойства плазмы при всех указанных способах возбуждения в общих чертах одинаковы. Выбор генератора плазмы определяется конкретной задачей и практическими удобствами. [c.372] К основным физическим параметрам плазмы, знание которых необходимо для исследований плазмохимических процессов, относятся концентрации электронов и ионов, функции распределения электронов по скоростям и их средние энергии, напряженность электрического поля, температура газа. [c.372] Концентрации электронов, их энергетическое распределение, а также напряженность поля в плазме чаще всего измеряют с помощью электрических зондов. Для измерений концентрации электронов используют также метод сверхвысокочастотного резонатора. Сведения о температуре газа получают термопарным или другим контактным методом, а также — спектральными методами. Химический состав плазмы изучают с помощью спектральных, масс-спектрометрическнх методов, метода ЭПР, хроматографии, химического титрования. [c.372] При исследовании плазмохимических гетерогенных реакций применяют также различные методы контроля процессов в конденсированной фазе. [c.372] Вернуться к основной статье