ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Вакуумные вводы из "Вакуумные системы и их элементы" При эксплуатации вакуумных установок часто приходится передавать движение или подводить электроэнергию в полость с пониженным давлением. [c.97] Это необходимо для управления клапанами, задвижками и вентилями, перемещения исследуемых образцов и приведения в движение механизмов, расположенных в вакуумных камерах, а также для нагрева деталей и подачи напряжения. Во всех этих случаях необходимы вакуумные вводы, удовлетворяющие следующим требованиям высокая герметичность, низкое газоотделение, надежность в работе и удобство в эксплуатации. [c.97] Вакуумные вводы по типу соединений разделяют на подвижные и неподвижные. [c.97] На рис. 76, а — ж показаны конструкции подвижных вводов для подачи электроэнергии. В некоторых вакуумных системах необходимо перемещать токовый ввод без нарушения вакуумной плотности. Вводы, показанные на рис. 76, а и б, обеспечивают покачивание электрода на угол до 15—20°, а показанные на рис. 76, виг — кроме покачивания, также некоторое осевое перемещение. Применяющиеся в этих вводах мембраны изготовляются из ковара или других металлов и сплавов. В случае, когда токовый ввод должен иметь большое осевое перемещение (см. рис. 76, виг) диаметр мембраны значительно увеличивается. Этот недостаток устранен в конструкции, показанной на рис. 76, д, где в качестве упругого элемента используется сильфон, соединенный со стеклянным корпусом прибора переходной втулкой из ковара. [c.97] Для разборного подвижного токоввода целесообразнее использовать конструкцию, показанную на рис. 76, е. Для уплотнения и изоляции здесь применяется резиновая мембрана. Такой ввод обычно применяют в камерах с давлением не ниже 5 10 мм рт. ст. [c.97] Конструкция, приведенная на рис. 76, ж, используется в камерах с давлением не ниже 1 Ю мм рт. ст., если необходимо подвести электроэнергию и одновременно обеспечить подвижность самого токоввода. [c.98] Подвижные вводы, не подводящие электроэнергию, являются наиболее распространенными типами вводов. В зависимости от назначения и условий работы встречается большое число различных конструкций такого рода вводов. По принципу уплотнения они разделяются на вводы через герметичные перегородки и уплотнения на валу. [c.98] Вводы через герметичные перегородки, в свою очередь, делятся на вводы с магнитной и механической связями. [c.98] Вводы С ма нитной связью применяются для передачи сравнительно небольших усилий. Они используются для управления некоторыми видами электрических переключателей и затворов, а также для приводов вращения и перемещения, требующих малых усилий. [c.98] Магнитные вводы вращения основаны на вращении ферромагнитных материалов, находящихся в ьакуумной полости, с помощью магнита или электромагнита (рис. 77). [c.98] При вращении нижнего вала поворачивается магнит 2 с двумя полюсными наконечниками. [c.98] Эти наконечники вращаются вокруг тонкостенного цилиндра 3 (из нержавеющей стали Х18Н10Т или меди), увлекая своим магнитным полем якорь /, который закреплен на валу, находящемся в вакуумной полости. Магнит и якорь изготовляются из никель-кобальтовых сплавов. [c.98] Для увеличения концентрации магнитного потока на якоре и магните делают канавки. [c.98] Величина передаваемого крутящего момента зависит от размера зазоров между якорем, цилиндром и магнитом. [c.99] Тонкостенный цилиндр в зависимости от условий работы уплотняется резиной, фторопластом или металлическими прокладками. [c.99] От материала прокладок зависит предельное давление в системе, в которой они используются. [c.99] Вводы с механической связью могут быть разделены на вводы с уплотнением мембраной (из резины или металла) и вводы с уплотнением сильфоном. [c.99] На рис. 79 показана конструкция вакуумного ввода с резиновой мембраной. Качающаяся металлическая крышка поворачивается на опорных подшипниках в одной плоскости. Герметичность достигается прижатием резиновой мембраны по наружному диаметру фланцем 5, а по внутреннему — тягой 1 и втулкой 6. [c.99] Недостаток такого ввода состоит в малой стойкости резины (до 100 циклов), а также в сложности изготовления стыкующихся поверхностей (в местах сжатия резины). [c.99] Вернуться к основной статье