ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Практическое применение электрохимических процессов в полупроводниковой технике из "Электрохимия германия и кремния" Первые попытки использовать электрохимические процессы при изготовлении полупроводниковых приборов были сделаны вскоре после создания транзисторов. Однако эти процессы не имели самостоятельного значения и их применение ограничивалось операцией травления полупроводников с целью получения р— -переходов. Толчком к широкому использованию электрохимических реакций в полупроводниковой технике послужила работа Тили и Уильямса о прецизионном струйном электролитическом травлении. Благодаря разработке этого метода стало возможным изготовление целого класса высокочастотных транзисторов со строго контролируемой толщиной базовой области (поверхностно-барьерный триод, микросплавные транзисторы с однородной и диффузионной базой и т. д.). [c.153] В настоящее время электрохимические процессы находят все большее применение в качестве самостоятельных технологических операций травления кристаллов и переходов, а также для обнаружения р—п-переходов, создания выпрямляющих и омических контактов на полупроводниках методом гальванического осаждения металлов и др. [c.153] Выпрямляющий эффект междуфазовой границы полупроводник— электролит для создания приборов не используется, так как его эффективность значительно ниже, чем у р—п-переходов, полученных другими методами (вплавления, диффузии, вытягивания из расплава и т. д.). [c.153] Из всех электрохимических процессов, применяемых в полупроводниковой технике, наибольшее значение имеют реакции растворения германия и кремния. [c.153] Состояние поверхности полупроводника определяется не только физическими свойствами самого кристалла, но во многом зависит от предварительной химической обработки поверхности и от состава окружающей среды, в которой находится данный полупроводник. Поэтому травление полупроводниковых материалов является одной из важнейших технологических операций, определяющих не только электрические параметры транзисторов, а также надежность и стабильность их работы. [c.154] Электрохимическое травление целесообразнее всего использовать в случаях, указанных в п. 3 и 5, т. е. когда оно имеет ряд существенных преимуществ перед химическим травлением. Ниже подробнее рассматриваются области применения электрохимических процессов в полупроводниковой технике. [c.154] Вернуться к основной статье