ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Характеристики структуры до и после операции ХОГФ функционального слоя из "Мир электроники технологии микроэлектроники Химическое осаждение из газовой фазы" На операцию ХОГФ функционального слоя в общем случае поступает структура со сформированным в подслое или подложке топологическим рисунком (гладкие подслой или подложка являются частными случаями), которая имеет следующие исходные характеристики (рис. 2, а). [c.41] Отношение глубины канавки к ее ширине, глубины отверстия к его диаметру и высоты ступеньки к ее ширине называется аспектным отношением (aspe t ratio - AR) и служит важной характеристикой рельефа с точки зрения его покрытия или планаризации осаждаемыми пленками. [c.41] Структуры первого вида, выходящие с операции ХОГФ, имеют следующие характеристики. [c.43] Вернуться к основной статье