ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Получение покрытий из полимеров напылением в вакууме из "Химия и технология лакокрасочных покрытий Изд 2" Термическое разложение полимеров в вакууме, как известно, сопровождается образованием мономеров и более сложных осколков макромолекул. В момент распада они находятся в активном состоянии, т. е. представляют собой радикалы. Такие же продукты возникают и при других способах энергетического воздействия, например электронно-лучевом, плазмохимическом. [c.268] Температуру нагревателя устанавливают в зависимости от применяемого полимера например, для полиэтилена 400 °С, для поликапроамида 420 °С, для политрифторхлорэтилена 450 °С. [c.269] При применении газоразрядной электронной пушки определяющим параметром является подводимая мощность. При этом максимальная скорость роста пленок фторопласта-3 и фторопласта-4 составляет 2,8—3,0 мкм/мин. В образующихся покрытиях полимер имеет молекулярную массу 40 000—140 000 их выход (соотношение количеств разложившегося и вновь образовавшегося полимера) составляет 30—75%. Покрытия, как правило, имеют толщину 5—10 мкм. Они достаточно прозрачны по механическим свойствам и защитной способности близки к покрытиям, получаемым традиционными методами. Благодаря высоким диэлектрическим показателям и низкой водопроницаемости покрытия из поли-п-ксилилена и фторопластов нашли применение для герметизации интегральных микросхем. [c.269] Газообразный п-ксилилен далее поступает в секцию осаждения (реакционную камеру), где адсорбируется на изделии и полимеризуется с образованием прозрачной или матовой пленки толщиной 0,2—40 мкм. Средняя скорость образования пленок 0,3—0,4 мкм/мин. [c.269] Отличительная особенность поли-л-ксилиленовых пленок — однородность по толщине, высокая прочность, низкая газопроницаемость, прозрачность для рентгеновских лучей. Они нашли применение при изготовлении тонкопленочных конденсаторов, для изоляции детекторов излучения, защиты резисторов, термисторов, термоэлементов и др. [c.269] Вернуться к основной статье