ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Принцип действия и классификация электрофизических насосов из "Электро-физические вакуумные насосы" Используются также термины магниторазрядные, разрядные насосы. Используется также термин плазменные дуговые насосы. [c.8] ИГН исполнения И, представляющие собой конструктивно совмещенные в едином корпусе откачные блоки различных типов, например МЭРН и насосы с термическим испарением геттера. Насосы этого типа назьшают обычно комбинированными. [c.12] Промышленные ЭФН не нуждаются в постоянной форвакуумной откачке. Их важнейшие вакуумные и технико-экономические характеристики суммированы в табл. 1.2 и на рис. 1.1. [c.12] При разработке ЭФН, в особенности высокопроизводительных, существенное значение имеют вопросы их энергетической и структурногеометрической оптимизации. Критерии и принципы оптимизации подробно рассмотрены в гл. 2 и 3. [c.12] Вернуться к основной статье