ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Сравнительные характеристики электрофизических насосов различных типов из "Электро-физические вакуумные насосы" Ни один тип ЭФН не является универсальным средством высоковакуумной откачки. В каждом конкретном случае их применения необходимы детальный анализ эксплуатационных условий и сопоставление характеристик насосов различных типов. [c.12] Абсолютные значения теплоты сорбции газов иа пленках вольфрама при Т = 293 К составляют, кДж/моль 192 (водород), 418 (оксид углерода), 355 (азот), 811 (кислород), 460 (диоксид углерода), 8,4 (аргон), 17 (криптон), 21 (ксенон). [c.14] Они оказьшают непосредственное влияние на формирование спектра масс остаточной газовой среды. На генезис и итоговый баланс углеводородных молекул, как видно, весьма существенно влияют водяные пары, в том числе синтезируемые в процессе работы ЭФН. [c.15] Синтез водяных паров идет с наибольшей скоростью в стартовом режиме насоса при прохождении диапазона давлений 1-10 Па парциальное давление паров в этом интервале возрастает на 1—2 порядка по сравнению с начальным и последующим уровнями. Общее количество синтезируемых водяных паров можно заметно уменьшить, сокращая продолжительность стартового режима. Для этого параллельно ЭФН необходимо подключать вспомогательный высокопроизводительный насос. Полезен также прогрев до температуры 350 К, даже кратков ременный. [c.15] Вопросы синтеза углеводородных молекул, в частности метана, более подробно обсуждаются в 1.4. [c.15] При очень низких давлениях (менее 10 Па) состав остаточной газовой среды в системах, откачиваемых ЭФН, определяют водород, метан и аргон при давлениях ниже 10 Па метан превалирует. [c.15] При включении ЭФН с расходуемым рабочим телом, прежде всего испарительных, вьщеляются сравнительно большие количества газов, в особенности водорода, растворенных в геттере. Поэтому для испарительных насосов, работающих в сверхвысоковакуумных системах, следует подбирать высокочистые геттеры. Чтобы предотвратить за-пыление геттерным веществом элементов вакуумных систем, откачиваемых испарительными и в меньшей степени разрядными насосами, необходимо их оптическое экранирование. [c.15] Интересное и, пожалуй, уникальное для средств откачки свойство МЭРН — пропорциональность тока разряда молекулярной концентрации откачиваемого газа. Это позволяет использовать МЭРН как индикаторы, а при периодической градуировке и постоянстве рода газа и как измерители полного остаточного давления. [c.15] Все ЭФН с обновляемыми геттерными пленками обладают последействием, т. е. сохраняют сорбционную активность в течение некоторого времени после выключения. В сверхвысоком вакууме и при малых газовых нагрузках эффект последействия ощутим в течение многих десятков часов. Это необходимо учитывать при формировании и измерениях малых газовых потоков в системах с активируемыми сорбирующими поверхностями. [c.16] Сравнительные характеристики ЭФН различных типов приведены в табл. 1.7. [c.20] Вернуться к основной статье