ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы ИСТОРИЯ РАЗВИТИЯ СРЕДСТВ ОТКАЧКИ В РОССИИ из "Вакуумная техника и технология" Первый - период становления, охватывающий промежуток времени до второй мировой войны, связанный с использованием вакуума в научных исследованиях, с появлением и развитием отечественной электровакуумной промышленности производством ламп накаливания, радиоэлектронных ламп, рентгеновских трубок и т.д. [c.3] До начала 30-х годов двадцатого столетия основными средствами получения вакуума в стране были ртутные насосы Тендера и Лен-гмюра, изготавливавшиеся в стеклодувных мастерских лабораторий и заводов, а также насосы, покупавшиеся за рубежом. В 1912 г. профессором Петербургского университета Боровиком был изобретен диффузионный парортутный насос. [c.4] С середины 30-х годов до начала второй мировой войны в Харьковском физико-техническом институте были проведены работы по созданию первого отечественного вакуумного масла с низкой упругостью пара 10 мм рт. ст. и первых отечественных паромасляных фракционирующих диффузионных насосов с быстротами действия от 40 до 1000 л/с. [c.4] Второй - период становления и стремительного развития от-качной вакуумной техники, охватывающий промежуток времени с 1945 г. до середины 60-х годов. [c.4] Этот период, явившийся периодом Ренессанса в вакуумной технике, был связан с научно-технической революцией, вызванной развитием военной техники и распространившейся на все области промышленности, техники и науки. Именно в этот период была заложена научная, техническая и промышленная база откачной вакуумной техники, дальнейшее совершенствование и развитие которой продолжалось в третий период, начиная с середины 60-х годов до настоящего времени. [c.4] Создание унифицированной серии высоковакуумных паромасляных насосов и агрегатов и серии газобалластных форвакуумных насосов различной производительности явилось важной вехой в дальнейшем внедрении вакуума в различные технологические процессы приборо- и аппаратостроения в качественную металлургию, электронику, нефтехимию, масс-спектрометрию, ускорительную технику и др. [c.6] Развитие ускорительной техники и техники получения редких и активных газов стимулирует начало работ по созданию парортутных насосов и агрегатов. Создаются насосы Н-5Р, Н-40Р, Н-1ТР с быстротами действия от 5 до 1000 л/с, уникальный насос с выхлопом в атмосферу ЭПРН-760, не имеющий и до сего времени аналогов за рубежом. Разрабатываются герметичные механические насосы НВГ-1, НВГ-2, НВГ-3 для откачки редких и радиоактивных газов. [c.6] Развитие производства вакуумного оборудования и необходимость его расширения приводит к передаче производства вакуумной техники с завода им. Вл. Ильича на Московский з-д Компрессор . [c.6] В 1950-51 гг. Б.Г. Лазаревым и Е.С. Боровиком в ХФТИ [3] выполнены первые работы по исследованию процесса криосорбцион-ной откачки и разработан первый заливной криосорбционный гелиевый насос ВК-4. [c.6] Наряду с паромасляными насосами разрабатываются механические бустер-насосы на основе конструкции двухроторных воздуходувок Рутса -насосы ДВН-500 и ДВН-1500. Производство насосов организуется на Мелитопольском компрессорном заводе. [c.6] Н-005 совмещал в себе свойства высоковакуумного и бустерного насосов, работая в области давлений Ю - 10 мм рт. ст. и обладая высоким значением наибольшего выпускного давления 4 мм рт. ст. Эти характеристики наряду с высокой термоокислительной стойкостью разработанных для него кремнийорганических жидкостей ПФМС-2 и ВКЖ-94 делали его удобным для оснащения автоматов откачки электровакуумных приборов. Насос НВО-40 с воздушным охлаждением предназначался для оснащения подвижных линий откачки электровакуумных приборов. Им были оснащены также гелиевые течеискатели ПТИ. [c.7] Расширение работ в области ускорительной техники и начало работ в области управляемых термоядерных реакций потребовало создания высокопроизводительных парортутных насосов и сверхвысоковакуумных агрегатов на их основе. Были разработаны насосы Н-5СР, Н-6ТР с быстротами действия 500 и 6000 л/с, агрегаты РВА-05-1, ВА-2-1, РВА-6-1, РВА-05-2, с предельным вакуумом Ю мм рт. ст. и прогреваемые агрегаты РВА-0,54 и РВА- 1-3 с предельным вакуумом 10 мм рт.ст. На агрегате РВА-0,5-4 в результате специальных исследований и разработанных мероприятий удалось получить предельный вакуум 10 мм рт. ст., наиболее низкий из когда-либо достигнутых для пароструйных насосов. Разрабатываются сверхвысоковакуумные прогреваемые паромасляные насосы ВА-05-5 и ВА-8-9М на базе насосов Н-5С и Н-8Т с предельным вакуумом 5-10 мм рт. ст. [c.7] Для развития вакуумной техники первая половина 60-х годов характерна качественными сдвигами - появлением принципиально новых видов откачного оборудования, не использующего для своей работы вакуумных масел. [c.8] для обеспечения безмасляного вакуума в установках для термоядерных исследований, а затем и для откачки особо надежных изделий электронной техники создается ряд электрофизических и физико-химических средств откачки. Разрабатывается группа сорбционноионных насосов типа СИН с производительностями 2000, 5000 и 20000 л/с, работающих на принципе поглощения газов титаном, распыляемым из жидкой капли электронной бомбардировкой при постоянной ионизации газа встроенным ионизатором. На базе насоса СИН-20 создается уникальный по своим характеристикам агрегат АВТО-20М, в котором распыляемый титан конденсируется на поверхности, охлаждаемой жидким азотом. Агрегат позволяет получать быстроту действия по водороду 30000 л/с и предельный вакуум 10 мм рт. ст. [c.8] Высокая интенсивность испарения титана жидкофазными испарителями при малом потреблении мощности позволяет создать автономные электронно-лучевые испарители со скоростью испарения титана до 1,5 г/мин для откачки термоядерных установок. Использование этих испарителей в термоядерной установке Огра позволило успешно решить проблему создания скоростей откачки установки около миллиона л/с. [c.8] Однако наличие высокого напряжения и накаленного катода, а также механизмов подачи титановой проволоки в испарителях насосов типа СИН существенно сужали возможности широкого применения насосов. [c.8] Свободны от этих недостатков магниторазрядные насосы, работающие на принципе распыления титана в высоковольтном разряде Пеннинга. С 1960 по 1964 гг. разрабатывается серия диодных магниторазрядных насосов типа НЭМ с быстротами действия от 30 до 6500 л/с НЭМ-30-2, НЭМ-100-2, НЭМ-300-1, НЭМ-1Т-1, НЭМ-2-5Т-1, НЭМ-7Т-1. Насосы позволяют получать предельный вакуум 10 мм рт. ст. при давлении 10 мм рт. ст. ГИН и НЭМ находят все возрастающее применение в электронной промышленности, в ускорительной технике, в физических лабораториях. Производство их организовывается на заводе в г. Калининграде (ныне ПО Кварц ). [c.9] Комплекс работ по безмасляным средствам откачки в этот период завершается разработкой ряда сорбционных цеолитовых насосов и агрегатов, предназначенных для предварительной форвакуумной откачки систем с геттерно-ионными магниторазрядными насосами от 760 до 10 -10 мм рт.ст.-(насосы ЦВН-0,1-2, ЦВН-1-2, агрегаты ЦВА-0,1-1, ЦВА-0,1-2, ЦВА-1-1, ЦВ-1-2). На базе магниторазрядных и цеолитовых насосов создается ряд безмасляных откачных агрегатов типа Эра Эра-30-2, ЭРА-100-2, ЭРА-300-2 с быстротами действия от 25 до 250л/с, с предельным вакуумом 10 мм рт. ст. [c.9] Вернуться к основной статье