ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Моделирование фрагмента поверхности из "Методы расчета вакуумных систем" Далее фрагмент заданной поверхности ограничивался с четырех сторон плоскостями, а с плоскости, находящейся на уровне самого высокого пика структуры, производился пуск частиц. На рис. 4.31 показаны результаты исследования зависимости интегрального коэффициента прилипания от его локального аналога. Исследование проводилось для двух характерных размеров фрагментов зерна и поверхности. Из результатов видно, что на зерне искажения не слишком сршьные, поскольку отношение характерной глубины выбоин в зерне к его размерам крайне мало. Здесь намеренно не применяется термин пора , потому что поры располагаются между зернами и имеют гораздо большие размеры — порядка сотых рши даже десятых долей микрона. Данные о характеристиках различных типов анализируемых сорбентов представлены в табл. 4.3. [c.178] Для фрагмента поверхности искажения зависимости уже составляют в некоторых местах 100 % и более (рис. 4.31). Фрагмент поверхности моделировался исходя из данных, полученных с помощью про-филометра (с увеличением в 1000 раз). Структура поверхности показана на рис. 4.32. Различие между графиками 7 и 2 состоит в том, что в первом случае ограничивающие поверхности имеют коэффициент прилипания, отличный от нуля, и соответственно откачивают газ, а во втором — не откачивают. [c.178] При анализе вакуумных систем одним из важнейших параметров является проводимость трубопроводов, соединяющих различные элементы системы. Этот показатель зависит от многих факторов, ключевыми из которых являются геометрические характеристики и угловое распределение скоростей. Под геометрическими характеристиками в данном случае подразумеваются как макрогеометрия трубопровода — форма поперечного сечения (круглое, квадратное и др.), размеры, так и микрогеометрия — структура поверхности, с которой непосредственно взаимодействует молекула. Анализ влияния микроструктуры поверхности частично описан в [9]. [c.180] Вторым ключевым фактором, оказывающим значительное влияние на проводимость, является закон углового распределения скоростей молекулы как на входе в трубопровод, так и внутри него при отражении от внутренней стенки. При расчете проводимости обычно предполагают, что на входе в трубопровод угловое распределение скоростей диффузное, что соответствует присоединению трубопровода к бесконечно большому объему. Внутри трубопровода (при отражении от стенок) также традиционно предполагают наличие диффузного углового распределения. [c.180] В данном параграфе рассматривается влияние характера углового распределения скоростей частицы на входе в трубопровод и внутри него на проводимость. Критерием оценки проводимости выбран коэффициент Клаузинга, равный отношению числа частиц, вьшетевших через выходное сечение, к числу частиц, влетевших во входное сечение трубопровода. Иначе можно сказать, что коэффициент Клаузинга определяет вероятность того, что частица пролетит сквозь трубопровод. [c.180] Вернуться к основной статье