ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Типовые схемы вакуумных систем из "Основы расчета и конструирования оборудования электровакуумного производства" Схемы вакуумных систем для откачки электровакуумных приборов. Оборудование, предназначенное для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов, должно иметь вакуумную систему, обеспечивающую поддержание разрежения в приборе на таком уровне, который исключает отравление катода и загрязнение других электродов прибора при достаточно быстром его обезгаживании. [c.456] Операции, последовательно проводимые в процессе откачки, принципиально одинаковы для всех электровакуумных приборов независимо от их типа и конструкции. [c.456] В связи с этим все вакуумные системы для откачки электровакуумных приборов строят по принципиально одинаковой схеме, отличающейся лищь в деталях, в зависимости от размеров откачиваемого прибора, его сложности и степени требуемого вакуума или чистоты газонаполнителя. [c.457] Эти вакуумные системы состоят из следующих основных элементов высоковакуумного пароструйного насоса насоса предварительного разрежения — механического вращательного насоса, который создает и поддерживает необходимое для высоковакуумного насоса выпускное давление охлаждаемой ловущки, помогающей работе высоковакуумного насоса тем, что она вымораживает из системы пары воды и другие конденсируемые вещества всякого рода кранов, вентилей и манометров, необходимых для управления установкой и измерения вакуума гнезд, служащих для быстрого присоединения откачной трубки прибора к вакуумной системе золотников (в карусельных откачных мащинах) и др. [c.457] Конструкция вакуумной системы, а также наличие в ней тех или иных элементов определяется особенностями конструкции откачиваемого прибора — размерами его и сложностью, степенью требуемого вакуума или чистоты газа — наполнителя, а также количеством выпускаемых приборов. Чем больще размеры прибора, чем он более сложен и чувствителен к качеству откачки, тем большая степень герметичности требуется при его присоединении к вакуумной системе и тем большее время необходимо на его откачку. [c.457] Наоборот, приборы небольших размеров или менее сложные, или, наконец, доводимые до требуемого вакуума уже после отпайки с вакуумной системы (газопоглотителями), можно откачивать значительно быстрее. [c.457] Вакуумные системы для откачки электровакуумных приборов подразделяются на два основных вида 1) вакуумные системы откачных постов 2) вакуумные системы откачных машин. [c.457] Вакуумные схемы откачных постов. Откачные посты предназначены для тщательной откачки, как правило, сложных приборов или приборов, имеющих большие габариты. Кроме того, откачные посты используют в условиях единичного производства приборов и в лабораторных условиях. Прибор (или одновременно несколько приборов), присоединяемый к вакуумной системе чаще всего путем напайки, проходит весь цикл откачки, затем отпаивается и только после этого можно напаивать следующий прибор. [c.457] Вакуумная система (рис. 7.46, б) отличается от предыдущей наличием высоковакуумного вентиля 3 на стороне высокого вакуума, линии байпасной (вспомогательной) откачки с вентилем И, форвакуумного бачка 7 и клапана 8 аварийного закрытия. Высоковакуумный вентиль 3 изолирует вакуумную систему от контакта с атмосферой во время установки нового изделия. Применение байпасной линии с вентилем И позволяет исключить непроизводительные потери времени на охлаждение и разогрев пароструйного диффузионного насоса. При откачке воздуха из прибора через байпасную магистраль пароструйный диффузионный насос 1 работает на форвакуумный бачок 7, который отделен в это время от механического вакуумного насоса 9 клапаном 8 аварийного закрытия. Клапан 8 выполняет роль защитного устройства, предотвращающего прорыв атмосферы и попадание масла из механического вакуумного насоса в пароструйный при обесточивании вакуумной установки. С целью исключения попадания масла из механического вакуумного насоса в клапан 8 и вентиль 11 иногда предусматривают вентиль 12, с помощью которого при выключении установки пространство над входным патрубком механического вакуумного насоса сообщается с атмосферой. Давление в разных участках вакуумной системы измеряют манометрическими датчиками 4, 5, 6 (2 — ловущка). [c.459] Если к схеме добавить натекатель 10 (на рисунке показан щтрихом), то эта схема может быть использована при вакуумной обработке газонаполненных ламп. [c.459] В вакуумной системе (рис. 7.46, в) выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса 2 с маслоотражателем 3 в отличие от вышеописанных схем присоединен к вспомогательному (бустерному) насосу 10, работающему на форвакуумный бачок 8 и механический вакуумный насос 1. Установка бустерного насоса между пароструйным и механическим вакуумным насосами обеспечивает возможность проведения технологического процесса с интенсивным газоотделением и получение разрежения порядка (3-4-5)10- тор. Важным преимуществом этой системы является хорошее обезгаживаиие рабочей жидкости пароструйного диффузионного насоса. Высоковакуумная откачка изделия производится через вентиль 5. Байпасная откачка изделия осуществляется механическим вакуумным насосом 1 через вентиль 4. Во время этой откачки угловой вентиль 9 закрыт, а насос 10 работает на форвакуумный бачок 8. [c.459] Для измерения давления предусмотрены манометрические датчики 5 и 7. [c.459] Вакуумная система (рис. 7.46, г) нашла широкое применение в установках для откачки металлостеклянных изделий. Основным отличием этой системы от вышеописанных является наличие вакуумного колпака 5, откачиваемого до давления (5 —8)10-2 го/7 через вентиль 8 одной из камер многокамерного механического вакуумного насоса 11. Давление в колпаке измеряется датчиком 6. Напуск атмосферного воздуха в колпак перед его подъемом производится через вентиль 7. Предварительная откачка изделий осуществляется через вентиль 9, присоединенный к одной из камер многокамерного механического вакуумного насоса, откачивающего колпак. По достижении заданного предварительного разрежения в изделии вентиль 9 закрывается и открывается высоковакуумный вентиль 3, который сообщает полость изделия с пароструйным диффузионным насосом 1, снабженным маслоотражателем 4. Для измерения высокого вакуума предусмотрен манометрический датчик 2 10 — аварийный вентиль). [c.460] На рис. 7.47 приведены принципиальные схемы высоковакуумных откачных постов. [c.460] В вакуумной системе (рис. 7.47, а) предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 9 через цельнометаллический прогреваемый вентиль 7. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический вентиль 5 пароструйным диффузионным насосом 3, снабженным прогреваемой двухъярусной охлаждаемой ловушкой 4. Выпускной патрубок насоса 3 через вентиль 2 соединяется с механическим вакуумным насосом 1. Для измерения давлений предусмотрены манометрические датчики 6 и 8. Высоковакуумная часть системы, состоящая из пароструйного диффузионного насоса 3, ловушки 4, вентилей 5 и 7 и манометрических датчиков 6 и 8, собрана в один агрегат. [c.460] В другой вакуумной системе (рис, 7.47, б) в качестве сверх-высоковакуумного насоса используется геттерно-ионный или электроразрядный магнитный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый вентиль 3. Для предварительного обезгаживания сверхвысоковакуумного насоса и вакуумной системы, а также для создания предварительного разрежения в изделии предназначен пароструйный диффузионный насос 7 с азотной ловушкой 6. Откачка изделия до давления Ю тор осуществляется механическим вакуумным насосом 9 через холодный пароструйный диффузионный насос 7. Этот насос может быть отделен от вакуумной системы цельнометаллическим прогреваемым вентилем 5. Выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса соединен с механическим вакуумным насосом 9 через вентиль 8. Измерение давления производится манометрическими датчиками 2 и 4. [c.460] На рис. 7.48 приведена конструктивная схема откачного унифицированного поста, предназначенного для вакуумной обработки СВЧ-приборов (сверхвысокочастотных приборов). [c.461] Безмасляная вакуумная система поста, в которой используются турбомолекулярные и электроразрядные насосы, гарантирует получение конечного рабочего разрежения в приборе 5 10 ч-5 10 тор и предельного разрежения в высоковакуумной системе (5- 1) тор. [c.462] Герметизация обрабатываемого прибора внутри вакуумной камеры по окончании цикла откачки осуществляется при температуре на корпусе прибора 500—600° С в режимах, приближающихся к условиям термодиффузионной сварки. [c.462] Вакуумные схемы карусельных и конвейерных машин (рис. 7.49), эксплуатируемых в настоящее время, принципиально мало отличаются от вакуумных схем откачных постов. [c.463] Вернуться к основной статье