ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Особо чистые высокопрочные графиты с защитным покрытием из "Справочник по углеграфитовым материалам" К данному виду относятся графиты МПГ-6 и МПГ-8, подвергнутые очистке и дегазации в вакууме с последующим поверхностным уплотнением пироуглеродом. Материалам присвоены марки МПГ-бу и МПГ-8у. Изделия (нагреватели, диски, лодочки и др.) используются при получении пленок кремния методом газовой эпитаксии. [c.57] Глубина слоя уплотнения пироуглеродом не более 2 мм. По согласованию с заказчиком на поверхности уплотненного изделия может быть осаждена тонкая пленка пирографита толщиной не более 0,1 мм. [c.58] Уплотненные пироуглеродом изделия резко снижают проницаемость и выделение газов (табл. 3.17). [c.58] Вернуться к основной статье