Циануразид

Описаны азидополимеры на основе НС, а также полимеров, полученных поликонденсацией замещенных циануразидов. В них азидогруппа может быть связана либо с ароматическим кольцом, либо с гетероциклом. В пат. ЧССР 182912 описаны светочувствительные композиции (с содержанием азота порядка 13%), полученные на основе НС, модифицированных, например, хлорангид-ридом азидобензойной кислоты или азидопроизводными нафталин-карбоновой кислоты общей формулы [c.159]

Использование в качестве структурных единиц циануразидов обеспечивает еще большую по сравнению с арилазидами стабильность полимерного состава как при получении его, так и в процессе длительного хранения светочувствительной композиции. Эти композиции рекомендуются для создания масок на ЗЮг/З или 51, при этом их экспонируют коротковолновым УФ-светом, травят плавиковой кислотой, достигая разрешение 0,5 мкм. Полимер используют на медной подложке, травят по рельефу раствором хлорида железа (III). Обычно для получения фоторельефа с помощью азидсодержащих композиций на медной подложке рекомендуется использовать светочувствительный промежуточный слой, например на основе поливинилциннамата, в рассматриваемой разработке удается обойтись без него. [c.159]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология