Позиционирование высокоточное

В связи с малым полем измерения в ТВМ и ФЭМ объекты больших размеров перемещаются с помощью точных профаммируемых приводов (обычно в пределах 300. .. 500 мм). При этом абсолютная пофешность позиционирования изделия составляет 0,01. .. 0,1 мм. Таким образом, в этих приборах реализуется принцип комбинированного сканирования объекта - высокоточного сканирования в малом поле измерения и менее точного сканирования, но имеющего большие пределы перемещения. [c.504]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология