ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы В большинстве насосов этого типа верхним пределом рабочего давления является форвакуум"!,О—0,1 Па. Сверху он в основном ограничивается возможностью работы испарителя. При повышении давления на поверхности твердофазных испарителей образуются стойкие пленки окислов, нитридов и карбидов, затрудняющих распыление геттера. Электроннолучевые испарители также перестают работать, так как повышение концентрации газа ведет к уменьшению длины пробега электронов. В результате электроны не успевают разогнаться и накопить достаточно энергии, необходимой для разогрева геттера. Наконец, в дуговых испарителях повышение давления выше 5—10 Па может вызвать образование малоподвижных анодных пятен, что чревато проплавлением стенок корпуса насоса. Кроме сказанного выше, следует иметь также в виду и то, что повышенное рабочее давление требует более интенсивного напыления геттера. Поэтому во избежание быстрого израсходования последнего насос целесообразно включать при давлении ниже 10“® Па. Это предварительное разрежение обеспечивают с помощью других насосов.