ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Таким образом, величина ионного тока в показаниях датчика зависит от конструкции последнего, что отражено в О , от соотношений углов и расстояний, постоянных вещества р и Л1, к тому же она пропорциональна эмиссионному току 1е. Зависимостью Т /г обычно пренебрегают и принимают ее постоянной, поскольку область рабочих температур испарения лежит для любого из испарителей в пределах нескольких сотен градусов. Хотя характеристика датчика, выраженная отношением ?t/d , и представлена уравнением (77), однако постоянная датчика не известна. Показания датчика должны быть эмпирически калиброваны. Для некоторых экспериментальных конструкций и ряда веществ были опубликованы калибровочные кривые. Численные значения этих кривых приведены в табл. 16. В исследованных областях скоростей осаждения отношения /?/? являются постоянными и тем выше, чем больше величина эмиссионного тока электронов. Для стабильной работы датчика этот ток должен быть стабилизирован. Ошибки в показаниях датчика могут вызываться паразитными электронами от горячего испарителя. Чтобы исключить эти ошибки, на испаритель необходимо подавать положительный потенциал 150—200 В относительно