ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Эллипсометрический метод. Принципиальная схема этого метода, впервые предложенного Л. Тронштадом (1929), изображена на рис. 11.16,0. Свет от монохроматического источника И (небольшой лазер) проходит вначале через поляризатор П, который делает этот свет плоскополяризованным, а затем через компенсатор К, превращающий плоскополяризованный свет в эллиптически поляризованный. Выберем систему координат таким образом, что ось 2 соответствует направлению падающего света, ось X располагается в плоскости рис. VII. 16,а, а ось у направлена перпендикулярно плоскости этого рисунка. При таком выборе системы координат в плоскости ху конец вектора электрического поля описывает эллипс, если падающий свет поляризован эллиптически (рис. VII.16,6). Для плоскополяризованного света этот эллипс стягивается в линию АВ, угол наклона которой по отношению к оси X (угол х) задается поляризатором П. От поворота компенсатора К угол 7 не изменяется, но падающий свет становится эллиптически поляризованным. Параметры эллипса можно характеризовать углом у, который задается компенсаторбм К и тан-