ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Часто утверждают, что ионно-распылительный насос можно включать при 10““ мм рт. ст., однако запуск некоторых типов диодных насосов при таких высоких давлениях представляет определенную трудность. Для триодных насосов такой проблемы не существует, и они могут запускаться даже при р= 10" мм рт. ст. Однако быстрота откачки в этой области давлений мала, и для снижения давления от 10 до 10 2 мм рт.ст. требуется го же самое время как и для снижения давления от 10-2 до 10“? мм рт. ст. [151]. Кроме того, в результате роста величины ионного тока при высоких стартовых давлениях увеличивается расход титана, в результате чего сокращается срок службы катода.