ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Данные анализа показывают, что при гидридном методе достигается наиболее полная очистка мышьяка от примесей, в связи с чем этот метод рассматривается в настоящее время как один из наиболее перспективных в технологии полупроводниковых материалов,