ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Ионный микроанализ — метод локального анализа. Анализируемый объект облучают сфокусированным пучком первичных ионов (диаметр пучка 1 —100 мкм, энергия порядка 10“ ® Дж, плотность тока 0,1 —10 А/м ). Эмиссия вторичных ионов, которую регистрируют масс-спектрометром, зависит при прочих равных условиях от концентрации определяемого элемента. Локальность по поверхности 1—10 мкм, по глубине 1—5 нм. Пределы обнаружения 10 —Ю“®% [54].