ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Значительно искажают структуру оседающего слоя и затрудняют миграцию микронероБности поверхности подложки. При высоте выступов микрорельефа порядка 20 ммк молекулярный поток может даже образовывать тени за выступами рельефа (рис. 17). По этой причине в основном применяют подложки из листового силикатного стекла с высотой неровностей около 1 ммк (отдельные поры все же встречаются диаметром до 10 ммк), тогда как более прочные и удобные в производстве подложки из фотоситалла имеют неровности около 20 ммк (без шлифовки).