ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы где С — разрядный ток плазмы в мА, V—ускоряющее напряжение в кВ, I — время в мпн и к — постоянная, зависящая от бомбардирующего газа и материала мишени. Постоянную к можно рассчитать для каждого устройства для нанесения покрытия распылением, материала мишени и бомбардирующего газа по данным экспериментальных измерений.