ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Кроме того, при пониженном давлении с помощью электродной или безэлектродной разрядных систем можно легко зажечь плазму внутри реактора и провести его плазмохимическую очистку с использованием более безопасных реагентов по сравнению с CIF3, например C F , SF и CF . Применение вакуумных систем с ловушками и скрубберами выхлопных газов после насосов также повышает безопасность эксплуатации реакторов ХОГФ пониженного давления по сравнению с реакторами атмосферного давления, но несколько снижает их технологическую производительность из-за необходимости периодической откачки реактора. Для увеличения производительности одинаковые реакторы колпакового типа также могут объединяться в составе многокамерной установки ХОГФ.