ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Чистота технического продукта 93—99%. Для получения особо чистого кремния технический кремний переводят в летучие производные, которые легко очищаются перегонкой, ректификацией, глубоким охлаждением. Такими соединениями кремния оказались тетрахлорид ЗЮГ,, трихлорсилан 51НС1з и моносилан 51Н4. На втором этапе очищенные соединения кремния восстанавливают водородом или используют термический распад;