ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА С ОБРАЗЦОМ из "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ том 1" Универсальность растрового электронного микроскопа при исследовании твердых тел в большей мере вытекает из обширного множества взаимодействий, которые претерпевают электроны иучка внутри образца. Взаимодействия можно в основном разделить на два класса 1) упругие процессы, которые воздействуют на траектории электронов пучка внутри образца без существенного изменения их энергии 2) неупругие процессы, при которых происходит передача энергии твердому телу, приводящая к рождению вторичных электронов, оже-электро-нов, характеристического и непрерывного рентгеновского излучений, длинноволнового электромагнитного излучения в видимой, ультрафиолетовой и инфракрасной областях спектра, электронно-дырочных пар, колебаний решетки (фононы) и электронных колебаний (плазмоны). В принципе все эти взаимодействия могут быть использованы для получения информации о природе объекта — формы, состава, кристаллической структуры, электронной структуры, внутренних электрическом или магнитном полях и т. д.. [c.21] Для того чтобы получить эту информацию из измеряемых сигналов и по зарегистрированным изображениям в РЭМ, исследователю в процессе работы необходимы надежные качественные, а где это возможно, количественные знания о взаимодействиях электронов с образцом. В данной главе не дается глубокого изучения физики процесса взаимодействия электронов здесь лишь делается попытка дать общие представления, необходимые для анализа изображений в РЭМ и анализа сигналов, несущих информацию о составе. Дополнительный материал будет приведен в последующих главах, посвященных качественному и количественному рентгеновскому микроанализу. [c.21] Вернуться к основной статье