ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА С ОБРАЗЦОМ

ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА С ОБРАЗЦОМ [c.21]

Взаимодействие электронного пучка с образцом [c.27]

Однако зачастую в растрово-электронных изображениях даже на изображениях простых объектов содержится гораздо больше информации, чем видит глаз. Для того чтобы получить максимальную информацию об объекте, необходимо развивать навыки интерпретации изображений. Более того, чтобы быть уверенным, что изображение правильно сформировано и зарегистрировано, в первую очередь необходимо иметь четкое представление о процессе формирования изображения. В данной главе мы рассмотрим основные свойства процесса формирования изображения в РЭМ 1) принцип сканирования, используемый для построения изображения 2) природу часто встречающихся механизмов формирования контраста, возникающих из-за взаимодействия электронного пучка с образцом 3) характеристики детекторов различных сигналов и их влияние на изображение 4) качество сигнала и его влияние на качество изображения 5) обработку сигнала для окончательного отображения. [c.98]

Рассмотрим межфазную границу между двумя материалами с большой разностью в среднем атомном номере. Хотя граница автоматически является резкой, коэффициент отражения будет плавно изменяться при переходе поперек границы за счет конечных размеров области взаимодействия, как. показано на рис. 4.36. Таким образом, изображение границы, сформированное в отраженных электронах, не дает такого резкого перехода, как реальная граница. То есть наша способность определения положения границы ограничивается природой взаимодействия электронного пучка с образцом. [c.159]

Последний недостаток обработки дифференцированием возникает из-за наличия возможности неточной интерпретации продифференцированного изображения [89]. Так как при дифференцировании края выглядят более яркими, получается оконтуривание или обострение краев [100]. Поскольку обычно мы распознаем объекты по их контурам, такое оконтуривание является полезным. Однако при увеличениях выше некоторого определенного увеличения оконтуривание может привести к ошибочному пониманию разрешения на изображении. Хотя обработка дифференцированием может дать более резкие края изображения, однако это необязательно соответствует точно истинному положению края объекта. Дифференцирование только выделяет положение самого быстрого изменения сигнала, которое является функцией профиля тока в пучке, профиля образца и области взаимодействия электронов пучка с образцом. Таким образом, использование обработки дифференцированием при больших увеличениях должно применяться с предосторожностями, в особенности если на изображениях проводятся измерения. [c.180]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология