ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Позитивные фоторезисты из "Светочувствительные полимерные материалы" Позитивные фоторезисты можно разделить на две группы, отличающиеся по механизму образования рельефного позитивного изображения. [c.65] Другая группа позитивных резистов включает материалы, в пленкообразующем полимере которых в результате ряда фотохимических, а затем термических стадий или разрушается основной скелет, или за счет превращений заместителей в цепи полимера появляются кислотные функции. В обоих случаях резко повышается растворимость экспонированных участков по сравнению с нефотолизованными, что и приводит при проявлении к позитивному рельефу. [c.66] Вернуться к основной статье