ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Предэкспозиционная термообработка из "Светочувствительные полимерные материалы " Предэкспозиционная термообработка (первая термообработка, сушка, предварительная термообработка) необходима для придания однородности пленке резиста по всей поверхности и обеспечения ее хорошей адгезии. Сушка является важной технологической операцией, оптимизация которой снижает брак. [c.21] В большинстве полимерных резистов используются аморфные полимеры, физико-химические свойства которых определяются конформацией полимерной цепи или ее сегментов. Молекулярное движение полимерной цепи или ее сегментов зависит от температуры. При повышенных температурах возрастает число степеней свободы цепей, что может вызвать течение, и полимер ведет себя как вязкая жидкость. При понижении температуры движение сегментов полимерной цепи уменьшается, а при температуре стеклования Тс полностью прекращается. Ниже 7с полимерный материал приобретает характеристики стекла. Подобное явление наблюдается и у неорганических полимеров, например у силикатного стекла. определяется подвижностью и гибкостью полимерной цепи и до некоторого предельного значения ММ полимера является характеристикой материала. Так как подвижность сегментов полимерной цепи связана со сменой конформации и зависит от времени, то конформация полимерной цепи никогда не является равновесной для достижения равновесия необходимо бесконечно большое время. [c.21] Значения Тс и Гпл могут быть найдены по изменению удельного объема полимера с температурой (рис. 1.2). У кристаллизующегося полимера при температурах ниже Гпл всегда содержится аморфная фаза. Это исключает использование кристаллических полимеров в качестве резисгов, так как пленка кристаллического резиста неоднородна. [c.22] Неверно выбранные условия сушки могут отрицательно влиять на светочувствительность фоторезистов, так как при повышении температуры разлагаются светочувствительные компоненты. [c.22] Сушка обычно проводится в специальных печах с использованием нагревательных элементов сопротивления или ИК-нагрева-телей с принудительной циркуляцией воздуха или инертного газа. Для эффективного управления процессом необходимо быстро достигать требуемой температуры, обеспечивать постоянную температуру во всем рабочем пространстве печи и, разумеется, сохранять абсолютную чистоту. В ряде систем принудительная циркуляция воздуха осуществляется через очистные фильтры, так как каждое загрязнение, попадающее на поверхность пленки резиста при температуре выше Гс, удерживается необратимо. Необходимо проверить и вместимость печи, чтобы при обработке большого числа подложек иметь воспроизводимый температурный режим. [c.23] Вернуться к основной статье