Предэкспозиционная термообработка

Предэкспозиционная термообработка (первая термообработка, сушка, предварительная термообработка) необходима для придания однородности пленке резиста по всей поверхности и обеспечения ее хорошей адгезии. Сушка является важной технологической операцией, оптимизация которой снижает брак. [c.21]

Предэкспозиционная термообработка. После нанесения композиции на подложку слой сушат при температуре ниже 100 С. В результате предэкспозици-онной термообработки (сушки) не только удаляется растворитель, ио и повышается адгезия слоя к подложке. Поскольку хинондиазиды термически разлагаются, а НС могут уплотняться при повышенных температурах [41], режим сушки оказывает влияние на результаты всех последующих обработок и на свойства рельефа. [c.85]

В системе А2/ПММА возникновение межфазного подслоя является диффузионным процессом, который усиливается с повышением температуры предэкспозиционной термообработки и концентрации резиста при постоянной частоте вращения центрифуги в операции формирования слоев. С ростом скорости центрифугирования толщина межфазного слоя уменьшается. Опытным путем сначала выбирают оптимальную температуру предэкспозиционной термообработки, а потом концентрацию резиста и частоту вращения центрифуги. Оптимизация проявителя состоит в использовании растворителя, который при проявлении планаризационного слоя одновременно немного растворяет и рельефный слой. При этом может быть обеспечено удаление межфазного подслоя. Планаризационный слой должен быть перед нанесением полисилоксана предварительно отвержден при 200°С так же, как и полисилоксановый слой [c.276]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология