ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Ионная литография из "Светочувствительные полимерные материалы " Ускоренные ионы, напрнмер Оа +, Ве 1п +, 5п-+ и др. [63, 64], ри прохождении через вещество могут вызвать хн.мические реакции подобно ускоренным электронам. Однако, пос ольку рассеяние ионов (с энергией 1—3 МэВ) существенно меньше рассеяния электронов, существует возможность при помощи ионной литографии достигать высоких степеней разрешения [65]. Фокусированный пучок ионов можно сканировать подобно потоку электронов, что может быть использовано для непосредственного образования структур с высокой плотностью элементов в разных полимерных -латериалах, например в ПММА [63]. Разрешение определяется рассеянием ионов и возникающих вторичных электронов. [c.43] Вернуться к основной статье