ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Технологические характеристики процессов ХОГФ функциональных слоев ИМС из "Мир электроники технологии микроэлектроники Химическое осаждение из газовой фазы" Следует отметить, что приведенные в этом разделе технологические характеристики относятся не только к операциям, но и к оборудованию ХОГФ ФС ИМС, так как нельзя отделить процесс от установки, в которой он реализуется. Однако, для оборудования, кроме указанных параметров, существуют еще дополнительные, присущие только ему конструкционно-технологические параметры, которые будут рассмотрены в следующем разделе. [c.48] Вернуться к основной статье