Микроскопическая металлография количественные методы

Этот метод является предпочтительным при измерениях проводимости и коэффициента Холла полупроводниковых пластин произвольной формы, однако в настоящей работе выбор методики был определен отсутствием других возможностей. Образцы для микроскопических наблюдений заделывали в оправу из полиметилметакрилата и полировали до устранения неровностей, превосходящих по высоте 0,1 мкм. В отраженном свете металлические частицы выглядели как белые пятна на темном непрерывном фоне ПВХ. Для доказательства однородности образцов при переходе от одной плоскости к другой производили оценку объемной доли металла методом количественной металлографии [6] во всех случаях отклонения в оцениваемых величинах пе превосходили 2% от объема загрузки. [c.318]

Справочник химика 21