Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Окислы смеси, полупроводники

Исследование структур металл— окисел — полупроводник показало, что пленка /ьтина получается при осаждении AL<) и формирующем гн.че (смесь азота с водородом) пли азоте, к то время как нейтральная или пленка .-типа получается в случае окислов, осажденных в кислороде. [c.325]

Техника низких температур (1962) -- [ c.371 ]

ПОИСК

Смотрите так же термины и статьи:

Окислы смеси

Полупроводники

Полупроводники полупроводники