Средства откачки электрофизических установок

Так, для обеспечения безмасляного вакуума в установках для термоядерных исследований, а затем и для откачки особо надежных изделий электронной техники создается ряд электрофизических и физико-химических средств откачки. Разрабатывается группа сорбционноионных насосов типа СИН с производительностями 2000, 5000 и 20000 л/с, работающих на принципе поглощения газов титаном, распыляемым из жидкой капли электронной бомбардировкой при постоянной ионизации газа встроенным ионизатором. На базе насоса СИН-20 создается уникальный по своим характеристикам агрегат АВТО-20М, в котором распыляемый титан конденсируется на поверхности, охлаждаемой жидким азотом. Агрегат позволяет получать быстроту действия по водороду 30000 л/с и предельный вакуум 10" мм рт. ст. [c.8]

Справочник химика 21