Релея термопарный

I — пульт управления 2 — электрометрический каскад 3 — приемник ионов 4 — камера анализатора с нагревателем 5 — электромагнит 6 — источник ионов 7 — датчик реле вакуумной блокировки 8 — блок измерения давления 9 — влагопоглотитель 10 — диффузионные насосы II — датчик термопарного манометра 12 — форвакуумный баллон [c.36]