Схемы электрические термопарного манометра

Рис. 2-31. Принципиальная электрическая схема включения термопарного манометра.

Давление в форвакуумной части вакуумной системы контролируется термопарным манометром, датчики 9 к 18 которого установлены на форвакуумном баллоне и патрубке форвакуумного насоса. Высокий вакуум в источнике ионов и камере анализатора контролируется магнитно-ионизационным манометром ( с пределами измерения Ы0 — ЫО" мм рт. ст.), датчики 3 и 22 которого могут поочередно включаться в электрическую схему манометра. [c.14]