Маски для напыления держатели

Перед напылением маску и подложку закрепляют в специальных держателях и помещают в откачиваемый объем. Подложку нагревают до требуемой температуры и затем по очереди плотно прижимают к ней маски, через которые производят напыление. [c.33]

Маскодержатель представляет собой стальной диск толщиной 3 мм и диаметр 150 мм. Диск закреплен на вертикальном валу, который вращается в подшипниках, установленных в стальных кронштейнах. Маскодержатель расположен ниже верхнего кронштейна, на котором закреплен держатель подложки. Таким образом, при повороте диска каждая маска по очереди совмещается с подложкой, чем обеспечивается последовательное напыление на нее тонкопленочных слоев, имеющих различный рисунок. Поворот испарителя дает возможность одновременно менять состав напыляемого материала. [c.273]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология