Испарители разборными высоковакуумными системами

Для изготовления многослойных микроэлектронных схем чаще всего используются разборные высоковакуумные системы последовательного типа. Их характерными элементами являются вращающиеся держатели масок и подложек и испарители большой емкости [318—320 . На типичной установке, представленной на рис. 93, источники закреплены, а держатель подложек может перемещаться. Конфигурации напыляемых пленок задаются масками, закрепленными на нижнем поворотном устройстве, обеспечивающем нужную последовательность совмещения масок с подложками. Часто в установке предусматриваются дополнительные устройства для экранировки испарителей (заслонки), нагревания подложек, измере- [c.307]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология