Автоэмиссионная пушка

Влияние хроматической аберрации для вольфрамового шпилькового катода становится более важным при низких ускоряющих напряжениях. Так, при использовании описанной выше схемы расчета для зонда размером 5 нм (50 А) величина хр составляет 8 нм при 15 кВ. Действие хроматической аберрации приводит к увеличению размера зонда до 9,5 нм (95 А). Так как разброс эмиттированных электронов по энергиям АЕ в пушке с катодом из ЬаВе почти такой же, как для вольфрамового катода [6], для нее нельзя ожидать существенного уменьшения влияния хроматической аберрации. Яркость пушки с катода из ЬаВе, однако, значительно выше, и здесь можно ожидать получения меньших значений мии. Тем не менее учет действия хроматической аберрации весьма важен при расчете предельного разрешения электронного пучка и при использовании такой электронной пушки. Интересно отметить, что разброс по энергии в автоэмиссионной пушке 0,2—0,5 эВ [7] намного меньше, чем в термоэлектронных пушках, о которых говорилось выше. [c.19]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология